マスクアライナー
| 管理番号 | K004-0040 |
|---|---|
| メーカー | QUINTEL |
| 型番 | Q 2001CT |
| カテゴリー | 露光 |
| シリアル番号 | 0500-2001C |
| 仕様（日本語） | 2.5インチマスクを使用するコンタクトアライナー マスク-ウエハ間隔；0-180μm 基板；1cm角～４インチφ マスク；2.5インチ角、5インチ角 光源；200W水銀ランプ(350~450nm) 解像度；0.6～1.0μm マニュアルアライメント；1.0μm 照度分布；≦5％＠3.5インチφ |
売却済
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