投影露光装置
| 管理番号 | K045-0003 |
|---|---|
| メーカー | ウシオ電機 |
| 型番 | UX-44101SC－ND02 |
| 年式 | 2015年式 |
| カテゴリー | 露光装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 1507001 |
| 仕様（日本語） | ＭＥＭＳの研究開発・製造向けに最適化した一括投影露光装置「UX4 （ユーエックス・フォー）UX4は、マスクやワークにダメージを与えない完全非接触の一括投影露光方式を採用しており、段差のある基板や厚膜レジストなどに対応した露光装置です。MEMSやパワーデバイスなど、製造するデバイスに合わせてカスタマイズした装置をシリーズ展開しており、裏面アライメントや両面同時露光などの各種機能が搭載可能な他、一括全面露光が可能なウェハサイズはφ100mm、最小解像度はL/S＝2μmを有しています。 |
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