露光装置

メーカーEVG
型番EVG620
年式2006
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 露光装置, マスクアライナー
ウェハーサイズ4inch
シリアル番号062060094
仕様（日本語）ジャンク品
部品取機として販売
管理番号 K004-0077
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Products

投影露光装置

メーカー
ウシオ電機
型　番
UX-44101SC－ND02

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メーカー
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PLA-521

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Q 2001CT

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メーカー
EVG
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