露光装置
| 管理番号 | K004-0077 |
|---|---|
| メーカー | EVG |
| 型番 | EVG620 |
| 年式 | 2006年式 |
| カテゴリー | 露光装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 062060094 |
価格
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