露光装置

メーカーEVG
型番EVG620
年式2006
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 露光装置, マスクアライナー
ウェハーサイズ4inch
シリアル番号062060094
仕様（日本語）"高精度両面位置合わせ装置
ターゲット解像度
ソフトコンタクト：3umのL/以下
プロキシミティギャップ：5umのL/S以下
アライメント精度：1um"
管理番号 K004-0077
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Products

投影露光装置

メーカー
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型　番
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