マスクアライナー
| メーカー | キヤノン |
|---|---|
| 型番 | PLA-521 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 露光装置, マスクアライナー |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| 管理番号 | K004-0038 |
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