マスクアライナー
| 管理番号 | K004-0005 |
|---|---|
| メーカー | EVG |
| 型番 | EVG620 |
| 年式 | 2006年式 |
| カテゴリー | 露光装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch, 6inch |
| シリアル番号 | S060085 |
| 仕様（日本語） | "高精度両面位置合わせ装置 ターゲット解像度 ソフトコンタクト：3umのL/以下 プロキシミティギャップ：5umのL/S以下 アライメント精度：1um" |
売却済
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