スピンコーター
| メーカー | 三笠産業 |
|---|---|
| 型番 | 1H-DXⅡ |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 塗布現像装置, コーター |
| シリアル番号 | 2268AA403 |
| 仕様（日本語） | 形式 ：回転塗布式 １ヘッド 試 料 台 ： 準備試料台 試料サイズ ： 最大154㎜φ １㎜ｔ 試料固定方式 ： 真空吸着固定式 回 転 数 ： 300－7000 r.p.m 回 転 時 間 ： 最大999.9秒（合計） 回 転 制 御 ： プログラム方式・最大100段入力可 回転立上がり時間 ：0.3 秒（無負荷）・スロープ設定可 回 転 精 度 ： ±１ r.p.m（無負荷） スピン室内径 ： 290㎜φ 使用真空源 ： -0.08～-0.1Mpa（真空ポンプはオプションとなります。） 使 用 電 源 ： ＡＣ 100Ｖ 50/60Hz ５Ａ 外 径 寸 法： 約Ｗ362×Ｈ275×Ｄ525（㎜） 重量 ：本体約27㎏ |
| 管理番号 | K073-0008 |
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