自動塗布ブーク装置

メーカー	リソテック
型番	CB50
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 塗布現像装置, コーター
ウェハーサイズ	8inch
仕様（日本語）	https://www.ltj.co.jp/coaterdeveloper.php?eid=00001#pageInnerご参照ください
管理番号	A4011

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