コータデベロッパー
| メーカー | 東京エレクトロン |
|---|---|
| 型番 | MARK Ⅶ |
| 年式 | 2006 |
| カテゴリー | 半導体中古装置(前工程), 塗布現像装置, コーターデベロッパー |
| ウェハーサイズ | 8inch |
| シリアル番号 | 7161393 |
| 仕様(日本語) | レジスト3:AZ5200NJ(85CP) レジスト1:AZ6124 レジスト2:TSMR-iN057 LP109 レジスト3:LOR 7A(GAL) TANK1:PMシンナー TANK2:PMシンナー BOTTLE1:EBR PG BOTTLE2:EBR PG TANK1:PK-DEX4040 TANK2:PK-DEX4040 NMD-3 2C2D |
| 管理番号 | K066-0001 |
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