コータデベロッパー

メーカー東京エレクトロン
型番MARK Ⅶ
年式2006
カテゴリー半導体中古装置(前工程), 塗布現像装置, コーターデベロッパー
ウェハーサイズ8inch
シリアル番号7161393
仕様(日本語)レジスト3:AZ5200NJ(85CP) レジスト1:AZ6124 レジスト2:TSMR-iN057 LP109 レジスト3:LOR 7A(GAL) 
TANK1:PMシンナー TANK2:PMシンナー BOTTLE1:EBR PG BOTTLE2:EBR PG TANK1:PK-DEX4040 TANK2:PK-DEX4040
NMD-3
2C2D
管理番号 K066-0001
価格はお問い合わせください