自動現像ベーク装置

メーカーリソテック
型番DB50W
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 塗布現像装置, デベロッパー
ウェハーサイズ8inch
仕様（日本語）https://www.ltj.co.jp/coaterdeveloper.php?eid=00001#pageInnerご参照ください。
管理番号 A4010
Products

自動塗布ブーク装置

メーカー
リソテック
型　番
CB50

デベロッパー

メーカー
東京エレクトロン
型　番
Mark-Vz

スピンコーター

メーカー
アクティブ
型　番
ACT-300AⅡ

フォトレジストポンプ

メーカー
Millipore
型　番
PHOTO-250

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