デベロッパー
| 管理番号 | K045-0001 |
|---|---|
| メーカー | 東京エレクトロン |
| 型番 | Mark-Vz |
| 年式 | 2015年式 |
| カテゴリー | 塗布・現像 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 619771 |
| 仕様（日本語） | 2DEV |
価格
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