スピンコーター
| 管理番号 | K034-0001 |
|---|---|
| メーカー | アクティブ |
| 型番 | ACT-300AⅡ |
| 年式 | 2017年式 |
| カテゴリー | 塗布・現像 |
| シリアル番号 | 17-1747A |
| 仕様（日本語） | 基板サイズ：Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応 カップ内径：Φ300mm 外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm 電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz 回転制御速度 / 回転精度：0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時) 重量：約22kg |
価格
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