SOGコータスピンコータ､デベロッパー
| 管理番号 | K004-0001 |
|---|---|
| メーカー | 東京応化 |
| 型番 | CS8232NU |
| 年式 | 2006年式 |
| カテゴリー | 塗布・現像 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | CS06C013 |
| 仕様（日本語） | ロボット無し |
価格
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