質量ガス分析装置
| メーカー | INFICON |
|---|---|
| 型番 | 918－214－G1U |
| カテゴリー | 理化学機器, 分析装置 |
| 仕様（日本語） | 質量ポジション安定性 <0.1 amu over 24 hours 感度 (FCモード) ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) 感度 (定格) ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) 最小検出可能部分圧力 (FCモード) ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) 最小検出可能部分圧力 (EMモード) ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) 最大動作圧力(FCまたはEMモード) 20 mTorr (2.6E-2 mbar) 最大動作圧力（リニア操作） 10 mTorr (1.3E-2 mbar) |
| 管理番号 | A3036 |
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