自動エリプソメーター
| メーカー | ファイブラボ |
|---|---|
| 型番 | MARY‑102SM-300 |
| 年式 | 2005.9 |
| カテゴリー | 理化学機器, 測定装置 |
| シリアル番号 | 05915084 |
| 仕様（日本語） | 測定方式：回転リアレーター（Rotating Retarder）法により、高精度なフィルム厚・屈折率・吸光係数の解析が可能 レーザー光源：HeNeレーザー（632.8 nm, 約0.8 mW）使用 ビーム径：約φ0.8 mm（λ＝632.8 nm） 固定入射角：70°での測定設計 試料ステージ：直径2インチ（主にウェハやガラス基板対応） 。 トータルサイズ：220 × 125 × 115 mm、重量3 kgと非常にコンパクト 精度：Δ（位相差）±0.03°、Ψ（振幅比）±0.03° at SiO₂(1000 Å)/Si 最小測定時間：約0.05 秒 。 ソフトウェア：用途によって「Industrial」と「Research」の2つのバージョンから選択可 電源仕様：AC100 V ±10％、最大消費4 A 。 |
| 管理番号 | K058-0122 |
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