エリプソメータ
| メーカー | 堀場エステック |
|---|---|
| 型番 | UVISEL |
| 年式 | 2006 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 膜厚計(膜厚測定装置), エリプソメータ |
| ウェハーサイズ | 8inch |
| 仕様(日本語) | 光源ランプパワー:150Wまたは75W 測定波長範囲:248~830nm(標準)または190~830nm(オプション) 仕様書、取説書有り |
| 管理番号 | K021-0013 |
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