エリプソメータ

メーカー堀場エステック
型番UVISEL
年式2006
カテゴリー検査・分析装置, 膜厚計(膜厚測定装置), エリプソメータ
ウェハーサイズ8inch
仕様(日本語)光源ランプパワー:150Wまたは75W
測定波長範囲:248~830nm(標準)または190~830nm(オプション)
仕様書、取説書有り
管理番号 K021-0013
商談中