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| メーカー | SCREEN |
|---|---|
| 型番 | VM-2210 |
| 年式 | 2013 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 膜厚計（膜厚測定装置） |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 570808628A |
| 仕様（日本語） | 膜厚のみ |
| 管理番号 | K021-0007 |
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