膜厚測定機

メーカーSCREEN
型番VM-2210
年式2013
カテゴリー検査・分析装置, 膜厚計（膜厚測定装置）
ウェハーサイズ4inch
シリアル番号570808628A
仕様（日本語）膜厚のみ　
測定方式： 光干渉式
用途： 半導体ウェーハ等の薄膜膜厚測定
対応ウェーハ： 4インチ対応
測定対象： フォトレジスト、酸化膜等の薄膜
測定： 非接触・非破壊による膜厚測定
管理番号 K021-0007
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