反射分光膜厚計
| メーカー | 大塚電子 |
|---|---|
| 型番 | FE‑3000 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 膜厚計（膜厚測定装置） |
| 仕様（日本語） | 測定波長範囲：190 nm～1600 nm（紫外から近赤外域） 測定膜厚範囲：1 nm ～ 1 mm（広い範囲の膜厚対応） 測定スポット径（最小）：φ3 µm（微小スポット測定対応） |
| 管理番号 | K061-0003 |
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