オーミックアロイ装置
| メーカー | ケミトロニクス |
|---|---|
| 型番 | OS-55010W6SD |
| 年式 | 2011.12 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 熱処理装置, レーザーアニール装置 |
| シリアル番号 | 1112669 |
| 仕様（日本語） | 加熱室材質：SUS304 水冷ジャケット冷却方式 加熱室寸法：外径575mm×高320mm 常用温度：600~1200℃ 最高温度：1300℃ 処理可能試料：4インチ及び6インチウェハ 25段キャリア ガス：N2またはAr 電源：AC200V 3相 75A (26kVA) 本体寸法：1230×1970×1450mm 本体重量：約1200kg 仕様書、取説書有り |
| 管理番号 | M001-0006 |
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