酸化膜形成装置

メーカー	サムコ
型番	PD-270STL
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 熱処理装置
仕様（日本語）	ø4 inch×3枚の同時成膜において膜厚均一性±1.5%以下が可能 80℃～の低温成膜が可能定格電圧：3相 200V 150A 定格電流：単相　100V 5A 定格周波数：50Hz 使用ガス：TEOS、O2、C2F6
管理番号	M001-0004

成績書有り

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