拡散炉
| 管理番号 | K030-0001 |
|---|---|
| メーカー | KOKUSAI ELECTRIC |
| 型番 | DJ-812V |
| 年式 | 2011年式 |
| カテゴリー | CVD |
| シリアル番号 | BC0R-0009 |
| 仕様（日本語） | 抵抗加熱式カートリッジヒータ 4ゾーン 有効内φ276mm ヒーター単体時 均熱長 800mm 使用温度範囲 400～850℃ 石英組込み時(ウェーハフルチャージ) 均熱長 740mm 使用温度範囲 400～500℃ カセット棚 3段x3列 6インチカセット9個収納 三相200V 3.6Kw 最大消費電力(800℃時) 22Kw |
価格
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