LPCVD

メーカーKOKUSAI ELECTRIC
型番DJ-812V
年式2011
カテゴリー半導体中古装置(前工程), 熱処理装置, 縦型炉 拡散炉
ウェハーサイズ4inch
シリアル番号BC0R-0009
仕様(日本語)使用温度範囲 400~850℃
カセット棚 3段 4インチ仕様
三相200V
管理番号 K030-0001
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