プラズマCVD装置
| メーカー | ASM |
|---|---|
| 型番 | EAGLE10 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, CVD装置 |
| 仕様（日本語） | 最大流入量：350SLM(処理条件による) |
| 管理番号 | M001-0005 |
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