プラズマCVD装置

メーカーASM
型番EAGLE10
年式2006.4
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, CVD装置
シリアル番号1225
仕様（日本語）本体：1630×2260×2770mm
本体重量：約2500kg
対象ウェハ：SiC及びSi 6インチ
成膜材料：SiN
成膜精度：面内、ウェハ間、リアクター間ばらつき±3%以内
成膜レート：100nm/min以上
取説書有り
最大流入量：350SLM(処理条件による)
管理番号 M001-0005
Products

スパッタリング装置

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スパッタリング

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