スパッタリング

メーカー	芝浦メカトロニクス
型番	CFS-4EP-LL
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置
シリアル番号	FFT0211
仕様（日本語）	チラー付属1台型式：CH-402BF 基板：フェライトサイズ：８インチ成膜材料：Pt, Au, Cr, Sio2, Al, ITO 膜厚分布：±５％以内到達圧力：5×10⁻⁴Pa 加熱温度：最大300℃ 本体寸法：1250×820×1520 mm 本体重量：650Kg 仕様書、取説書あり
管理番号	B001-0002

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