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| メーカー | 芝浦メカトロニクス |
|---|---|
| 型番 | CFS-4EP-LL |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 |
| シリアル番号 | FFT0211 |
| 仕様（日本語） | チラー 付属1台 型式：CH-402BF |
| 管理番号 | K076-0002 |
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