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| メーカー | キヤノンアネルバ |
|---|---|
| 型番 | E-401S |
| 年式 | 2007.12 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 |
| シリアル番号 | EVP-52391 |
| 仕様（日本語） | チラー 1台 ロータリーポンプ 2台 |
| 管理番号 | K080-0001 |
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