ECR プラズマ成膜装置
| 管理番号 | K045-0002 |
|---|---|
| メーカー | JSWアフティ |
| 型番 | EC-9600L |
| 年式 | 2015年式 |
| カテゴリー | PVD |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 159621 |
| 仕様（日本語） | 到達圧力：プロセスモジュール：3×10-5Pa以下 トランスファー室：9×10-5Pa以下 ロードロック室：3×10-4Pa以下 真空排気系: プロセスモジュール： ターボ分子ポンプ 1300l/sec ロータリーポンプ：500l/min トランスファー室： ターボ分子ポンプ 450l/sec ロータリーポンプ：250ll/min ロードロック室： ターボ分子ポンプ 450l/sec ロータリーポンプ：250l/min 基板加熱：最大300℃ ガス導入系:マスフローコントローラ：3口x3式 ガス種：アルゴン、酸素、窒素 電力:3φ200V Max. 4系統 冷却水:0.3〜0.4MPaG、20l/min Max. 3系統 重量:約7000kg ドライポンプ 3台 型式：NeoDry36EV-009C 型式：ＮeoDry 15E 型式：ＮeoDry 15E |
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