エッチング装置

メーカーサムコ
型番RIE-200NL
年式2021.11
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, エッチング装置
シリアル番号43A4180
仕様（日本語）ドライポンプ：EV-M20N
ドライポンプ：EV-S20P
チラー：HRS018-W-20-BM
管理番号 K071-0002
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Products

イオンミリング

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