アッシャー

メーカー	KOKUSAI　ELECTRIC
型番	RAM-6500R
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置
仕様（日本語）	■処理条件 ●RFパワー　：800~1000〔W〕 ●圧力　：0.8～1.0〔Torr〕 ●ガス流動　：O2＝600～1000〔sccm〕 ●温度設定　：50～80〔℃〕
管理番号	M001-0002

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