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| メーカー | 神港精機 |
|---|---|
| 型番 | SPZM6121 |
| 年式 | 2018.5 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 42172170-007 |
| 管理番号 | K066-0002 |
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