表面形状段差測定機
| メーカー | KLA |
|---|---|
| 型番 | P-16 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 理化学機器, 測定装置 |
| シリアル番号 | 906008696 |
| 仕様（日本語） | ステップ高さ精度 高精度：再現性 6 Å（0.6 nm） 垂直測定範囲 最大 327 µm（ステップ） 針圧制御 定力制御付き 0.5–50 mg スタイラス先端 半径 約 2 µm（60°） オプティクス デュアルビュー／6.4×光学倍率 ステージ モーター制御によるレベリング・回転、真空保持 サンプル対応 最大 8″ ウェーハ対応 ソフトウェア Apex 2D レポート・シーケンス対応 PC／OS Windows XP ベースのハードウェア構成 |
| 管理番号 | K061-0002 |
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