表面形状段差測定機
| メーカー | KLA |
|---|---|
| 型番 | P-16 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 理化学機器, 測定装置 |
| シリアル番号 | 906008696 |
| 仕様（日本語） | ステップ高さ精度 高精度：再現性 6 Å（0.6 nm） 垂直測定範囲 最大 327 µm（ステップ） 針圧制御 定力制御付き 0.5–50 mg スタイラス先端 半径 約 2 µm（60°） オプティクス デュアルビュー／6.4×光学倍率 ステージ モーター制御によるレベリング・回転、真空保持 サンプル対応 最大 8″ ウェーハ対応 ソフトウェア Apex 2D レポート・シーケンス対応 PC／OS Windows XP ベースのハードウェア構成 動作確認作業内容 1．スタイラス（測定針）交換作業 ２．Dconモードにて、センサー調整作業 →スタイラス昇降する様になったが、ビデオ 画像が映らない症状有り ・カメラUnit交換作業→画像良好。 3．スタイラス位置及びTopView/SideViewのピント調整作業 ４．ScanPositionOffset/StylusForceキャリブレーション実施 5．オプティカルフラット/リードスクリューのクリーニング/注油 →サンプル測定の際、ノイズ有り。調査の結果、ステージ土台のテフロンパット（水色）緩み有り 6．ステージ土台Unit交換 →交換後、ノイズ波形は無くなったが、測定波形が斜め（300Å程の差）に出る症状有り ・ステージ/センサー周りの固定ネジ増し締め →症状変わらず ・X軸ユニット交換実施 →X軸交換にて、斜め波形症状改善 上記作業の結果、本装置では、以下、部品交換が必要かと考えられます。 スタイラス（測定針）／カメラUnit／ステージ土台Unit／X軸ユニット ＊PCも異常動作（HDD発熱症状等）が見られましたので、別途ご確認必要です。 |
| 管理番号 | K061-0002 |
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