四探針抵抗測定器

メーカーKOKUSAI ELECTRIC
型番VR250
年式2011.11
カテゴリー理化学機器, 測定装置
シリアル番号B002766001
仕様(日本語)対応ウェハサイズ:3インチ~8インチ
OS:Windows 10
試料タイプ記号:MT金属膜ウェーハ
電源: 1φ AC100V ±10% 50/60Hz 1.0kVA以下
真空源:-30kPa以下 5L/min以上
本体サイズ:W338×L511×H447
本体重量:35kg
プローブコンディショニングプレート無し
仕様書、取説書有り
管理番号 M001-0011