表面形状段差測定機
| メーカー | KLA |
|---|---|
| 型番 | P-10 |
| カテゴリー | 理化学機器, 測定装置, 形状測定機 |
| シリアル番号 | 03000513 |
| 仕様（日本語） | 測定方式：ステージ駆動、センサー位置固定 走査距離：最大60mm 走査速度：1 μm/s～25 mm/s サンプリングレート：50,100,200,500,1000ポイント/秒 垂直方向分解能/測定レンジ：1 ű6.5 μm 垂直リニアリティ：10 Å 針圧設定範囲：1mg~50mg 分解能：0.1mg 垂直方向測定レンジ：300 μm ウエハーサイズ：最大８インチ 最大サンプル重量：2.2kg XYステージ移動距離：最大150mm XYステージ移動速度：最大25mm/秒 電圧：AC90~110V 50/60Hz 消費電力：150VA 寸法：570mm×1030mm×840mm 重量：68Kg 仕様書有り |
| 管理番号 | K062-0001 |
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