スパッタリング装置

メーカー神港精機
型番SPZM6121
年式2019.3
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置
ウェハーサイズ4inch
シリアル番号42182190-019
管理番号 K059-0010
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Products

銅めっき装置

メーカー
日立パワーソリューションズ
型　番
MA-Cu04,MA-Ni02

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型　番
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ロボットコントローラ

メーカー
KAWASAKI
型　番
30C61C-B004

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