両面スクラブ洗浄装置

メーカー	テクニカルフィット
型番	S968
年式	2020
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置, ウエハー洗浄装置
ウェハーサイズ	4inch, 6inch
仕様（日本語）	5槽仕様 Φ４/Φ６・Φ98/Φ148対応可能薬液供給ユニット⇒水中ローダー⇒２流体洗浄両面⇒両面洗剤⇒両面純水⇒２流体洗浄両面⇒スピン乾燥⇒アンローダー
管理番号	K059-0007

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