真空プラズマ洗浄装置

メーカー	March Plasma Systems
型番	AP-1000
年式	2004.8
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置
シリアル番号	P100181
仕様（日本語）	RF電源なし
管理番号	C005

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