酸アルカリ洗浄装置　

メーカーカナメックス
型番WSC-A100TCBT
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置
仕様（日本語）ウェハー材料：シリコン及びSic
ウエハー寸法：φ6インチ×300μm~800μm
カセット寸法：φ6 157×142×165mm KM-60PN
ピッチ材質：PFA又はPP
収納枚数：23枚
御支給：各2ケ
チャンバーABC：φ350 材質PTFE
排気ドレン：φ25×4ケ
対象液体：NH4OH、HCL、H2SO4、HF、H2O2
（建屋からの自動供給）
スピン乾燥 N2ガス
電源：AC200V 3相 60Ｈz 125A
本体寸法：1700×2580×2235mm
本体重量：1500㎏
仕様書、取説書有り
管理番号 M001-0007
Products

ウェット洗浄装置

メーカー
昭和ケミカル
型　番
PL-00682O-00290

スピンドライヤ

メーカー
大宮工業
型　番
OKH-E404M

真空プラズマ洗浄装置

メーカー
March Plasma Systems
型　番
AP-1000

スピンリンサードライヤー

メーカー
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型　番
SPD180-RN

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