スパッタリング装置

メーカー神港精機
型番SPZM6121
年式2018
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置
ウェハーサイズ6inch
シリアル番号42182120-015
管理番号 K059-0008
Products

スパッタリング装置

メーカー
神港精機
型　番
SPZM6121

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ECR プラズマ成膜装置

メーカー
JSWアフティ
型　番
EC-9600L

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