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| メーカー | 神港精機 |
|---|---|
| 型番 | SPZM6121 |
| 年式 | 2018.11 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 |
| ウェハーサイズ | 6inch |
| シリアル番号 | 42182120-015 |
| 仕様（日本語） | ﾘﾓｰﾄﾀｰｹﾞｯﾄ型高密度成膜装置 |
| 管理番号 | K059-0008 |
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