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| メーカー | Filmetrics |
|---|---|
| 型番 | F50 |
| カテゴリー | 理化学機器, 測定装置 |
| シリアル番号 | 09F004 |
| 仕様（日本語） | 対応ウェハサイズ 最大 300 mm（12インチ） 測定対象 薄膜（酸化膜、窒化膜、フォトレジスト、ポリマー、SiO₂、Si₃N₄ など） 測定範囲 約 300 Å ～ 50 µm 精度 ±0.4％ または ±20 Å（公称） |
| 管理番号 | K058-0151 |
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