表面形状測定器
メーカー | Veeco |
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型番 | D150 |
年式 | 2007.11 |
カテゴリー | 理化学機器, 測定装置, 形状測定機 |
シリアル番号 | 25165 |
仕様(日本語) | 対応ウェハサイズ 最大 150 mm スタイラス先端 12 μm(マイクロチップ) スキャン長 最大 55 mm(連続200 mmのステッチ機能) 垂直分解能 0.1 nm 垂直レンジ 最大 0.5 mm(1 mmオプションあり) ステージ 150 × 150 mm XYステージ、自動または手動切替 垂直追従性 繰り返し 0.6 nm(再現性) ソフトウェア Windows XP 搭載PC + Dektak V9.2解析ソフト(Vision V4.20オプションも) |
管理番号 | K058-0104 |
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