表面形状測定器

メーカーVeeco
型番D150
年式2007.11
カテゴリー理化学機器, 測定装置, 形状測定機
シリアル番号25165
仕様(日本語)対応ウェハサイズ 最大 150 mm
スタイラス先端 12 μm(マイクロチップ)
スキャン長 最大 55 mm(連続200 mmのステッチ機能)
垂直分解能 0.1 nm
垂直レンジ 最大 0.5 mm(1 mmオプションあり)
ステージ 150 × 150 mm XYステージ、自動または手動切替
垂直追従性 繰り返し 0.6 nm(再現性)
ソフトウェア Windows XP 搭載PC + Dektak V9.2解析ソフト(Vision V4.20オプションも)
管理番号 K058-0104
価格はお問い合わせください