表面形状測定器
| メーカー | Veeco |
|---|---|
| 型番 | D150 |
| 年式 | 2007.11 |
| カテゴリー | 理化学機器, 測定装置, 形状測定機 |
| シリアル番号 | 25165 |
| 仕様（日本語） | 対応ウェハサイズ 最大 150 mm スタイラス先端 12 μm（マイクロチップ） スキャン長 最大 55 mm（連続200 mmのステッチ機能） 垂直分解能 0.1 nm 垂直レンジ 最大 0.5 mm（1 mmオプションあり） ステージ 150 × 150 mm XYステージ、自動または手動切替 垂直追従性 繰り返し 0.6 nm（再現性） ソフトウェア Windows XP 搭載PC + Dektak V9.2解析ソフト（Vision V4.20オプションも） |
| 管理番号 | K058-0104 |
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