自動四点プローブ測定システム
メーカー | Microworld |
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型番 | 333A |
カテゴリー | 理化学機器, 測定装置 |
シリアル番号 | 050627 |
仕様(日本語) | 測定可能ウェハサイズ 最大300 mm(12″) 面抵抗測定範囲 1 mΩ/□~8×10¹¹ Ω/□ マッピング機能 最大6,000点、複数モード 通信 SECS‑II 対応 自動化 フル自動化オプション可能 |
管理番号 | K058-0103 |
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