自動四点プローブ測定システム
| メーカー | Microworld |
|---|---|
| 型番 | 333A |
| カテゴリー | 理化学機器, 測定装置 |
| シリアル番号 | 050627 |
| 仕様（日本語） | 測定可能ウェハサイズ 最大300 mm（12″） 面抵抗測定範囲 1 mΩ/□～8×10¹¹ Ω/□ マッピング機能 最大6,000点、複数モード 通信 SECS‑II 対応 自動化 フル自動化オプション可能 |
| 管理番号 | K058-0103 |
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