自動四点プローブ測定システム

メーカーMicroworld
型番333A
カテゴリー理化学機器, 測定装置
シリアル番号050627
仕様(日本語)測定可能ウェハサイズ 最大300 mm(12″)
面抵抗測定範囲 1 mΩ/□~8×10¹¹ Ω/□
マッピング機能 最大6,000点、複数モード
通信 SECS‑II 対応
自動化 フル自動化オプション可能
管理番号 K058-0103
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