ターボ分子ポンプ
| メーカー | 大阪真空 |
|---|---|
| 型番 | TG800FBWB-21 |
| 年式 | 2018 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 4287 |
| 仕様（日本語） | 排气速度 N2 (L/s)：820 N2(附带金属保护网) (L/s)：750 H2 (L/s)：650 最大压缩比 N2：1×108 H2：1×104 极限压力(Pa/Torr) <1×10-6/<7.5×10-9 最大气体流量 (sccm) 330 启动时间 (min) 7-9 停止时间 (min) 27-32 |
| 管理番号 | K051-0004 |
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