クライオコンプレッサー

メーカー	アルバック
型番	C30VR
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コンプレッサー
シリアル番号	XC4006B
仕様（日本語）	電源：3相200V～220V 電力：5.0/6.0（50/60Hz）冷却方式：水冷質量：127Kg 使用時間:68599h
管理番号	K021-0002-3

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