ドライポンプ

メーカーEBARA
型番ESR200WN
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ
シリアル番号DH02088
仕様（日本語）電源：3相200～220V
排気速度：20000L/min
到達圧力：0.13Pa
質量：250kg
管理番号 K031-0001-1
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Products

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