スパッタリング
| 管理番号 | K051-0001 |
|---|---|
| メーカー | 芝浦メカトロニクス |
| 型番 | SWM-5000-51 |
| カテゴリー | スパッタリング |
| 仕様（日本語） | ウェーハサイズ：200（mm） 薄ウェーハ対応：t100（μm）程度 プロセスチャンバ数：最大5チャンバ（10GUN） ウェーハ温度コントロール（ESC） 省スペース：W2800×D3600×H2500（mm） 加熱、逆スパッタ対応 |
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