スパッタリング装置
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | SIH-450 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| 仕様（日本語） | 基板ホルダー：φ450 2インチ角基板X8枚 加熱機構：Max250℃(ハロゲンランプ) スパッタ室：W680 D740 H360 取り出し口：W920 D740 H260 基板加熱：3Kw RF電源：1Kw＋3Kw 3φ200V 50Hz |
| 管理番号 | K048-0001 |
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