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| メーカー | 東京エレクトロン |
|---|---|
| 型番 | Mark-Vz |
| 年式 | 2015 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 塗布現像装置, デベロッパー |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 619771 |
| 仕様（日本語） | 2DEV |
| 管理番号 | K045-0001 |
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