スパッタリング装置

メーカーキヤノンアネルバ
型番L-210S-FH
年式2001
カテゴリー半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置
管理番号 K036-0002
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Products

ECR プラズマ成膜装置

メーカー
JSWアフティ
型　番
EC-9600L

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メーカー
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蒸着装置

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シンクロン
型　番
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スパッタリング

メーカー
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型　番
SWM-5000-51

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