スパッタリング装置
| メーカー | キヤノンアネルバ |
|---|---|
| 型番 | L-210S-FH |
| 年式 | 2001 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, スパッタリング装置 |
| 管理番号 | K036-0002 |
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