欠陥レビューSEM

メーカー日立ハイテク
型番RS6000
年式2011
カテゴリー検査・分析装置, 測長装置, 走査電子顕微鏡
ウェハーサイズ8inch, 12inch
シリアル番号6101-01
仕様（日本語）対応ウエハー：200ｍｍ/300ｍｍウエハー（Ｖノッチ）
最小検出欠陥サイズ：18nm
管理番号 K035-0002
Products

電子顕微鏡FIB-SEM

メーカー
FEI Company
型　番
Helios 400S

走査電子顕微鏡

メーカー
日立ハイテク
型　番
SU3500

分析走査電子顕微鏡

メーカー
日本電子
型　番
JSM-6490A

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