分析走査電子顕微鏡
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番 | JSM-6490A |
| 年式 | 2006 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 測長装置, 走査電子顕微鏡 |
| ウェハーサイズ | other |
| シリアル番号 | MP14600007 |
| 仕様（日本語） | "PS：WindowsXP 試料ホルダ32㎜Φ×10㎜Ｈ用試料ホルダ 51mmΦ×10㎜Ｈ用試料ホルダ (12.5mmΦ試料が7個入るアダプタ付） 最大試料サイズ：ウエハ8インチ" ドライポンプ 型式：G-100DB チラー 型式：CA-1112 |
| 管理番号 | K004-0039 |
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