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分析走査電子顕微鏡

管理番号K004-0039
メーカー日本電子
型番JSM-6490A
年式2006年式
カテゴリー検査・測定
ウェハーサイズ その他
シリアル番号MP14600007
仕様(日本語)"PS:WindowsXP
試料ホルダ32㎜Φ×10㎜H用試料ホルダ
51mmΦ×10㎜H用試料ホルダ
(12.5mmΦ試料が7個入るアダプタ付)
最大試料サイズ:ウエハ8インチ"

ドライポンプ 型式:G-100DB
チラー 型式:CA-1112
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