電子顕微鏡FIB-SEM

メーカーFEI Company
型番Helios 400S
年式2008
カテゴリー検査・分析装置, 測長装置, 走査電子顕微鏡
シリアル番号D5032
仕様(日本語)電子柱: Elstar™電子柱
最小解像度: 1 nm以下(高エネルギー条件下)
加速電圧: 0.5 - 30 kV

イオン柱: Sidewinder™イオン柱
イオンビームエネルギー: 5 - 30 keV
ビーム径: 5 nm(最小)

冷却: 水冷システム
電源: 220 V ± 10%(単相)
管理番号 K035-0001
売却済