電子顕微鏡FIB-SEM
| 管理番号 | K035-0001 |
|---|---|
| メーカー | FEI Company |
| 型番 | Helios 400S |
| 年式 | 2008年式 |
| カテゴリー | 検査・測定 |
| シリアル番号 | D5032 |
| 仕様（日本語） | 電子柱: Elstar™電子柱 最小解像度: 1 nm以下（高エネルギー条件下） 加速電圧: 0.5 - 30 kV イオン柱: Sidewinder™イオン柱 イオンビームエネルギー: 5 - 30 keV ビーム径: 5 nm（最小） 冷却: 水冷システム 電源: 220 V ± 10%（単相） |
価格
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