スピンコーター
| メーカー | アクティブ |
|---|---|
| 型番 | ACT-300AⅡ |
| 年式 | 2017 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 塗布現像装置, コーター |
| シリアル番号 | 17-1747A |
| 仕様（日本語） | 基板サイズ：Φ5～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ） 基板対応 カップ内径：Φ300mm 外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm 電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz 回転制御速度 / 回転精度：0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時) 重量：約22kg |
| 管理番号 | K034-0001 |
価格はお問い合わせください
在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！