メカニカルブースターポンプ

メーカー	アルバック
型番	SF-JRF
年式	1995
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, メカニカルブースターポンプ
シリアル番号	T00062003
管理番号	K028-0004

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